德國PI線性促動器和平臺

P-753 LISA線性促動器和平臺

§ 同時為平臺和促動器提供導向

§ 行程達38 微米

§ 分辨率 0.05 nm

§ 可提供非磁性版本

§ 直接驅動可實現極其快速的響應行為

§ 電容式傳感器帶來線性度

應用領域

§ 掃描顯微鏡

§ 測量技術

§ 測試程序和質量保證

§ 光子

§ 光纖定位

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現*運行1000億個循環。

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來精度

運動直接在運動平臺上測量，*不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現jia的重復精度、優異的穩定性和剛性 、快速響應控制。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可 實現極低的排氣率。

PICMA直接驅動可實現更高剛性和動態

帶直接驅動的壓電陶瓷納米定位器無機械平移，帶PICMA直接驅動的壓電陶瓷納米定位器無機械平移。因此可實現快 速響應速度，并在壓電陶瓷驅動范圍內實現的剛性和動態。

訂購信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

Physik Instrumente (PI)P-753.1CD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.2CD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.3CD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 帶LEMO連接器的版本

Physik Instrumente (PI)P-753.11C LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，12微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.21C LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，25微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

Physik Instrumente (PI)P-753.31C LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，38微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 線性定位器，真空兼容達10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.1UD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.2UD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.3UD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

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